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**SUNX晶圓校準(zhǔn)傳感器,神視傳感器功能
檢測(cè)頭和控制器的總消耗電流為70mA以下。
實(shí)現(xiàn)光電傳感器同等的低功耗。
雖然使用紅色LED作為光源,
但仍然具有激光傳感器同樣的***,因此可實(shí)現(xiàn)*精度檢測(cè)。
投、受光部一體型,無(wú)需繁瑣的光軸調(diào)整。
并且,檢測(cè)距離及檢測(cè)寬度可以覆蓋30mm的廣闊區(qū)域,
可對(duì)應(yīng)各種不同尺寸的晶圓。
模擬輸出(1~5V)除了系數(shù)調(diào)整功能之外,
還具備方便的偏移調(diào)整功能,可在±0.5V的范圍內(nèi)轉(zhuǎn)換模擬電壓。
使用ONE SHOT連接器將檢測(cè)頭與控制器連接。
配線(xiàn)工時(shí)降至低限度,維護(hù)輕松。
使用安全的紅色LED作為光源,無(wú)需任何繁雜的安全措施。
**SUNX晶圓校準(zhǔn)傳感器,神視傳感器功能
檢測(cè)寬度 30mm(直線(xiàn)性按照28mm的寬度規(guī)定)
檢測(cè)距離 30mm(固定)(注2)
能 保護(hù)構(gòu)造 IP40(IEC)
使用環(huán)境溫度 0~+40℃(注意不可結(jié)露),存儲(chǔ)時(shí):-20~+55℃
使用環(huán)境濕度 35~85%RH、存儲(chǔ)時(shí):35~85%RH
使用環(huán)境照明度 白熾燈:受光面照明度3,000lx以下、
熒光燈:受光面照明度3,000lx以下
耐電壓 AC1,000V 1分鐘 所有電源連接端子與外殼之間
絕緣電阻 所有電源連接端子與外殼之間,20MΩ以上,基于DC250V的*阻表
耐振動(dòng) 頻率10~150Hz 雙振幅0.75mm X,Y和Z方向各2小時(shí)
耐沖擊 加速度490m/s2(約50G) X,Y和Z方向各3次
投光元件 紅色LED(投光波峰波長(zhǎng):650nm)
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