介紹SUNX晶圓定位傳感器，panasonic傳感器安裝位置
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產(chǎn)品名稱: 介紹SUNX晶圓定位傳感器，panasonic傳感器安裝位置
產(chǎn)品型號:
產(chǎn)品展商: SUNX
產(chǎn)品文檔: 無相關(guān)文檔
簡單介紹
介紹SUNX晶圓定位傳感器，panasonic傳感器安裝位置
檢測物體 3英寸以上的半導(dǎo)體晶圓(注2)
可對應(yīng)檢測面 有受光方向反射面的端面形狀的檢測面(注3)
檢測角度 12.5±5°(注4)
晶圓間距 間距3mm以上時(shí)，可按通常靈敏度進(jìn)行分離檢測(注5)
適用晶圓盒 SEMI規(guī)格FOUP晶圓盒/開放式晶圓盒
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的詳細(xì)介紹
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電源電壓 12?24V DC±10% 脈動P-P10%以下
消耗電流 65mA以下
因此，對于使用單波長激光的傳感器，可能會因光全被吸收而無法檢測。
而LED光源的光具有一定波長段，即使氮化膜晶圓也可準(zhǔn)確檢測。
0.5ms的*速反應(yīng)
實(shí)現(xiàn)0.5ms的*速反應(yīng)。兼顧*速反應(yīng)性和*精度。
基于2段受光元件的*精度位置檢測
利用反射光量檢測時(shí)，反射光量和晶圓的邊緣形狀會影響檢測結(jié)果。
輸出動作 可用切換開關(guān)選擇入光時(shí)ON/非入光時(shí)ON
短路保護(hù) 裝備(自動復(fù)位)
反應(yīng)時(shí)間 500μs以下
工作狀態(tài)指示燈 橙色LED(輸出ON時(shí)亮起)
穩(wěn)定指示燈 綠色LED(穩(wěn)定入光時(shí)、穩(wěn)定非入光時(shí)亮起點(diǎn)燈)
定時(shí)器功能 裝備約2ms固定斷開延遲定時(shí)器 有效/無效切換式
M-DW1的受光部使用2段受光元件，通過反射光位置而非反射光量進(jìn)行檢測。
因此，受晶圓厚度和反射光量的影響較小。
基于2段受光元件的*精度位置檢測
可從四個(gè)方向引出電纜
傳感器可以從正前方、右側(cè)、左側(cè)、下方四個(gè)方向引出電纜。
可根據(jù)傳感器的設(shè)置情況靈活調(diào)節(jié)。
尺寸為寬度80.6mm×厚度18.3mm×進(jìn)深50mm，質(zhì)量約為75g的小巧、輕盈型
以往使用激光的激光式定位傳感器，激光會從加載口內(nèi)側(cè)穿過FOUP直射操作人員，十分危險(xiǎn)。
M-DW1成功使用LED光源。確保操作人員安全。
M-DW1以反射光的位置來檢測，不管反射光量的多少都能檢測出玻璃晶圓。
氮化膜具有可吸收特定波長光的性質(zhì)，吸收的波長因氮化膜的厚度而不同。
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