干式真空泵信號輸出SCHMALZ?
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產(chǎn)品名稱: 干式真空泵信號輸出SCHMALZ?
產(chǎn)品型號:
產(chǎn)品展商: 施邁茨
產(chǎn)品文檔: 無相關(guān)文檔
簡單介紹
干式真空泵信號輸出SCHMALZ?
空應(yīng)用領(lǐng)域的擴大，原有的機械真空泵及
2013年止，真空行業(yè)使用的大多數(shù)機械真空
泵都是用油、水或其它聚合物等流體充
件來防止返流，但不能徹底解決問題，
而且使系統(tǒng)顯得復(fù)雜。而使用適當型
式的干式機械真空泵，則可以
干式真空泵信號輸出SCHMALZ?
干式真空泵信號輸出SCHMALZ?
的詳細介紹
干式真空泵信號輸出SCHMALZ
完全珩磨殼體和閘門閥，由樹脂結(jié)合碳材料制成
旋轉(zhuǎn)葉片泵多室壓縮原理
設(shè)計緊湊，集成風(fēng)扇和潤滑軸承
真空應(yīng)用領(lǐng)域的擴大，原有的機械真空泵及
2013年止，真空行業(yè)使用的大多數(shù)機械真空
泵都是用油、水或其它聚合物等流體充
件來防止返流，但不能徹底解決問題，
而且使系統(tǒng)顯得復(fù)雜。而使用適當型
式的干式機械真空泵，則可以
達到理想的使用效果式機械真空泵
的應(yīng)用是廣泛的，主要有以下幾個方面:
1)低壓化學(xué)氣相沉積中的多晶硅制備工藝中;
2)半導(dǎo)體刻蝕工藝。在這些**工藝
用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之類附
的散熱能力
抽吸量根據(jù)客戶要求調(diào)整
干式真空泵，可配額外過濾器
泵起到滑片壓縮機作用，無振動運行，供給穩(wěn)定
集成緩沖部件的安裝孔
其組成的抽氣系統(tǒng)出現(xiàn)了兩個急需解決問題:一
是泵的工作介質(zhì)返流污染被抽容器，
而這種返流在許多情況下影響產(chǎn)品的質(zhì)量、
數(shù)量，增加設(shè)備的維護成本。其次，由
于某些工藝過程中的反應(yīng)物質(zhì)使真空
泵內(nèi)的介質(zhì)嚴重變質(zhì)，使泵不能正常工作。
對于普通的無油真空系統(tǒng)來說，雖然可
大真空度: 92%
無油干式機械真空泵(又簡稱干式機械泵)是指
泵能從大氣壓力下開始抽氣，又能將被
抽氣體直接排到大氣中去，泵腔內(nèi)無油或
其他工作介質(zhì)，而且泵的極限壓力與油封式
真空泵同等量級或者接近的機械真空泵。
安裝位置宜采用沿電機軸水平安裝
抽吸速率：10至129 m3/h
當泵的工作介質(zhì)，在泵內(nèi)起冷卻、密封、潤滑等
多種作用。隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展以及
中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒;
潤滑軸承和***風(fēng)扇
適用領(lǐng)域廣**...
旋葉使用壽命大大延長
無振動運行，連續(xù)、低脈沖輸出
干式真空泵信號輸出SCHMALZ
